超高真空镀膜机的表面处理有哪些工艺

超高真空镀膜机的清洗处理是非常重要的，镀膜机的清洗处理是否到位，将直接影响到极限真空环境的获得。使用良好的清洁处理工艺比之一般的清洗处理工艺，其设备材料的出气率要低了几个数量级。

比如说不锈钢材料的真空设备，它长期不断在大气中暴露，不进行任何清洗、去油处理、烘烤处理的话，其在抽气一小时后约为2x10⁻³[Pa·m³/（s·m²）］的出气率；若做了去油处理，不做烘烤处理，其在抽气四小时后可到1 x 10⁻⁵[Pa·m³（s· m²）］的出气率；如果去油后，再做清洗，又在250ºC的温度之下烘烤十五个小时的话，即可降到1 X 10⁻⁸[Pa·m³/（s·m²）］的出气率，可以发现，其出气率下降了近五个数量级之多。

真空设备可以做烘烤处理，对超高真空环境的获得来说，真空烘烤是不可缺少的工艺。一套合格的真空设备的设计，若少了烘烤措施，也没有其它相关措施的处理的话，那么不管配置任何类型的真空泵（如扩散泵、低温泵、溅射离子泵、涡轮分子泵等）做抽气处理，最终获得的工作压力也就大概在10⁻⁴Pa-10⁻⁵Pa这个数量级之间，顶多可达极限真空10⁻⁶Pa的量级，想要再高的真空度那就是天方夜谭。

针对于不锈钢，加速出气的方法有两种是最有效的：

1、在400ºC温度下的空气中烘烤；

2、在800ºC-950ºC下的真空环境烘烤。

烘烤处理工艺需要在2700Pa压力下的纯氧环境中进行，才能减少烘烤过程中存在水蒸气影响到材料表面的可能，此外，还需明确真空烘烤应在10⁻⁶Pa下进行，才能让材料中的氢浓度降低到我们需要得到的限度。

超高真空镀膜机在烘烤时应注意温度的控制，不同种类的材料的烘烤温度不一样：普通金属材料的温度控制范围在300ºC-450ºC之间；非金属材料是在80ºC-100ºC温度范围的控制；玻璃材料在140ºC-300ºC的温度范围之间控制；铜垫圈的烘烤温度控制在450ºC之内；金属陶瓷密封烘烤温度不应超过400ºC。